産業別ソリューション

半導体

わずかな偏差が歩留まりを左右する工程で

このページが答える質問

  • 半導体の工程データから歩留まりへの影響因子をどう見つけますか?
  • 設備異常を早期に検知するにはどの信号を見るべきですか?
  • 大容量の計測データをリアルタイムに処理するには?

この産業で求められる要件

  • 歩留まり(Yield)
  • 計測データ(Metrology)
  • FDC(Fault Detection & Classification)
  • 工程偏差
  • 異常検知
  • SPC

データが多いからといって答えが出るわけではありません

半導体工程はデータが不足している現場ではありません。むしろ計測・センサーデータが多すぎて、どこを見るべきか決めにくいという側面が強くなります。

歩留まりに影響する変数は一つや二つではなく、単独では影響が小さく見えた変数が他の条件と重なったときに問題を起こすこともあります。こうした相互作用は、人が表計算で眺めていても見えにくいものです。

アプローチ

まず収集構造から — データ量と発生速度が大きい工程のため、収集・保存の構造を先に設計します。ここが揺らげば後段の分析に意味がありません。

変数の影響度分析 — 工程変数と結果指標を並べ、どの組み合わせが偏差につながるかを確認します。

設備異常の早期検知 — 設備信号から平常と異なるパターンを見つけ、故障前に知らせます。

外観検査 — ルールベースのビジョンでは判定が難しい欠陥を、ディープラーニングによる検査(V²)で補います。

適用ソリューション